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特种照明

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特种类照明顺利制备了以Ag/TiW为p型欧姆接触的高

时间:2018-11-13 10:44 文章来源: 【字体:

  动力与机械学院刘胜传授团队在高效率倒装布局发光二极管(LED)研究范畴取得新进展,研究功效在光学范畴出名期刊Optics Express(《光学快报》)颁发。

  该项研究课题获得国度天然科学基金重点项目标赞助(U1501241),特种类照明研究功效无望在汽车照明和特种照明范畴获得使用。

  基于大电流密度LED 芯片特种照明手艺的冲破,无望较着提拔我国半导体照明财产的国际合作力。刘胜团队基于漂移-扩散方程、载流子持续性方程和热传输理论,成立了超大电流密度的LED 芯片电-光-热-靠得住性阐发模子,对倒装布局LED芯片进行了优化设想,成功制备了以Ag/TiW为p型欧姆接触的高光效、大电流密度倒装LED,使芯片光输出饱和电流提高到本来的两倍。

  为领会决这一搅扰学术界和工业界的难题,刘胜团队采用离子束溅射仿真制备Ag膜提高Ag与p-GaN的粘附强度,在氮氛围围下600℃高温快速热退火使纯Ag薄膜与p-GaN构成低阻欧姆接触。虽然通过离子束溅射和高温热退火工艺处理了纯Ag与p-GaN的粘结强度和欧姆接触问题,然而高温退火使纯Ag薄膜发生团簇,特种类照明导致Ag膜反射率下降。通过大量尝试,他们发觉,在Ag薄膜上溅射一层TiW薄膜能够无效抑止高温退火工艺中Ag膜发生的团簇现象,从而获得了具有高反射率、低阻欧姆接触的p型电极Ag/TiW,并成功使用于倒装布局LED芯片中。

  大功率倒装布局LED芯片在汽车大灯、舞台灯、投影仪和探照灯等以点光源、极高电流密度和光密度为特征的LED高端照明市场具有广漠的使用前景。倒装手艺是三维封装范畴的焦点手艺,构成具有高反射率、低阻欧姆接触的p型电极是高光效倒装布局发光二极管(LED)芯片的环节手艺。因为电子束蒸镀Ag薄膜与p-GaN的粘接强度低、欧姆接触电阻高,目前学术界和工业界通过在Ag薄膜下面插入一层Ni薄膜加强粘附强度,降低欧姆接触电阻,然而因为Ni对可见光具有强烈的接收感化,导致Ni/Ag的反射率急剧下降,从而降低了倒装布局LED芯片的发光效率。特种类照明顺利制备了以Ag/TiW为p型欧姆接触的高光效、大电流密度倒装LED

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